核心技术特点
低有机低硼特性:过滤材料使用低硼玻璃纤维滤材,硼的发生量极少,有机气体的发生量也极为稀少,几乎没有过滤器有机物的产生。这种特性使其特别适用于对硼含量和有机物含量敏感的半导体和液晶制造工艺。
高效过滤性能:对0.3μm粒子的捕集效率达到99.97%以上,符合HEPA高效过滤标准。部分型号甚至可达到99.9995%的超高效过滤性能,能够有效捕捉空气中的微小颗粒、细菌、病毒等污染物。
多空气体积设计:采用V形结构的特殊隔板,大幅增大过滤面积,在保持紧凑尺寸的同时显著降低压力损失。相比传统HEPA滤网,风阻降低约30%,初期压力损失仅84-147Pa,最终压力损失294-498Pa,大幅降低了空调系统的能耗。
高气流量处理能力:标准型处理风量可达10-41m³/min,多风量型甚至可处理50-70m³/min,相比普通HEPA滤网风量提升约2-3倍。这使得设备安装空间可大幅缩小,特别适合空间受限的洁净室、风淋室等洁净设备使用。
产品系列规格
紧凑型滤网(深度50-150mm):
YGML-10-E38:尺寸610×610×98mm,风量10.0m³/min,压力损失初期84Pa/最终294Pa,捕集效率99.99% at0.3μm
YGML-20-E38:尺寸610×1220×98mm,风量20.5m³/min
BGMC-28-E4:尺寸610×610×150mm,风量28.0m³/min
BGMC-34-E4:尺寸610×760×150mm,风量34.0m³/min
BGMC-17-E23:尺寸610×610×75mm,风量17.0m³/min
BGMC-21-E23:尺寸610×760×75mm,风量21.0m³/min
标准型滤网(深度290mm):
BGMC-41-E42:尺寸610×610×290mm,风量41.0m³/min,压力损失初期249Pa/最终498Pa,捕集效率99.97% at0.3μm
BGMC-51-E42:尺寸610×760×290mm,风量51.0m³/min
BGMC-50-E42T:尺寸610×610×290mm,风量50.0m³/min
BGMC-62-E42T:尺寸610×760×290mm,风量62.0m³/min
超薄型滤网(深度50-75mm):
YGML-10-E25:尺寸610×610×50mm,风量10.0m³/min,压力损失初期147Pa
YGML-20-E25:尺寸610×1220×50mm,风量20.5m³/min
YGML-10-E23:尺寸610×610×75mm,风量10.0m³/min,压力损失初期88Pa
YGML-20-E23:尺寸610×1220×75mm,风量20.5m³/min
应用领域
低有机、低硼多空气体积HEPA过滤器主要应用于以下领域:
半导体制造:在半导体制造过程中,空气中的微小颗粒物和硼、有机物等污染物可能对产品质量产生严重影响。该过滤器能够有效过滤空气中的杂质,保证生产环境的洁净度,特别适合对硼含量和有机物含量敏感的制程工艺。
液晶面板生产:液晶制造对空气洁净度要求极高,低有机低硼滤芯能够避免硼元素和有机物对液晶材料的污染,提高产品良率。
制药行业:制药行业对生产环境的洁净度要求极高,该过滤器能够满足这一需求,确保药品的质量和安全性。
医疗领域:医院手术室、重症监护室等对空气质量的要求极高,该过滤器能够提供洁净的空气环境,降低感染风险。
电子制造:精密电子装配、集成电路封装等对洁净度要求极高的环境,该过滤器能够确保生产环境的稳定性。