核心技术特点
低硼特性:过滤材料使用低硼玻璃纤维滤材,硼的发生量极少,适用于对硼含量敏感的半导体和液晶制造工艺,避免对产品造成污染。
高效过滤性能:对0.3μm粒子的捕集效率达到99.97%以上,符合HEPA高效过滤标准,能够有效捕捉空气中的微小颗粒、细菌、病毒等污染物。
多气流设计:采用V形结构的特殊隔板,大幅增大过滤面积,在保持紧凑尺寸的同时显著降低压力损失。相比传统HEPA滤网,风阻降低约30%,初期压力损失仅245Pa,最终压力损失498Pa,大幅降低了空调系统的能耗。
高气流量处理能力:标准型处理风量可达31m³/min,多风量型甚至可处理50-70m³/min,相比普通HEPA滤网风量提升约2-3倍。这使得设备安装空间可大幅缩小,特别适合空间受限的洁净室、风淋室等洁净设备使用。
产品系列规格
紧凑型滤网(深度150mm):
ATMCE-28-Q-E:尺寸610×610×150mm,风量27.0m³/min
ATMCE-34-Q-E:尺寸610×760×150mm,风量34.0m³/min
LMXL-70-65S:尺寸610×610×150mm,风量70m³/min,捕集效率65%
标准型滤网(深度290mm):
ATMCE-41-P-E:尺寸610×610×290mm,风量39.5m³/min
ATMCE-51-P-E:尺寸610×760×290mm,风量50.0m³/min
ATMCE-50-P-ET:尺寸610×610×290mm,风量48.0m³/min
ATMCE-62-P-ET:尺寸610×760×290mm,风量61.0m³/min
低硼多风量HEPA过滤网:
BGMC-41-E42:尺寸610×610×290mm,风量41.0m³/min
BGMC-51-E42:尺寸610×760×290mm,风量51.0m³/min
BGMC-28-E4:尺寸610×610×150mm,风量28.0m³/min
BGMC-34-E4:尺寸610×760×150mm,风量34.0m³/min
低有机低硼多风量HEPA过滤网:
TGMC-41-E42(CR):尺寸610×610×290mm,风量41.0m³/min
TGMC-51-E42(CR):尺寸610×760×290mm,风量51.0m³/min
TGMC-50-E42T(CR):尺寸610×610×290mm,风量50.0m³/min
TGMC-62-E42T(CR):尺寸610×760×290mm,风量62.0m³/min
应用领域
低硼多气流HEPA滤芯主要应用于以下领域:
半导体制造:在半导体制造过程中,空气中的微小颗粒物可能对产品质量产生严重影响。该过滤器能够有效过滤空气中的杂质,保证生产环境的洁净度。特别是对硼含量敏感的制程工艺,低硼特性尤为重要。
液晶面板生产:液晶制造对空气洁净度要求极高,低硼滤芯能够避免硼元素对液晶材料的污染,提高产品良率。
制药行业:制药行业对生产环境的洁净度要求极高,该过滤器能够满足这一需求,确保药品的质量和安全性。
医疗领域:医院手术室、重症监护室等对空气质量的要求极高,该过滤器能够提供洁净的空气环境,降低感染风险。
电子制造:精密电子装配、集成电路封装等对洁净度要求极高的环境,该过滤器能够确保生产环境的稳定性。