核心技术特点
低有机低硼特性:过滤材料使用低硼玻璃纤维滤材,硼的发生量极少,有机气体的发生量也极为稀少,几乎没有过滤器有机物的产生。这种特性使其特别适用于对硼含量和有机物含量敏感的半导体和液晶制造工艺。
超高效过滤性能:对0.1-0.2μm微粒的捕集效率达到99.9995%以上,符合EN 1822 Class U15标准,能够有效捕捉空气中的微小颗粒、细菌、病毒等污染物。
低风阻设计:采用V形结构的特殊隔板,大幅增大过滤面积,在保持紧凑尺寸的同时显著降低压力损失。初期压力损失仅118-147Pa,最终压力损失294Pa,相比传统HEPA滤网风阻降低约30%,大幅降低了空调系统的能耗。
高风量处理能力:标准型处理风量可达10-20.5m³/min,相比普通HEPA滤网风量提升约2-3倍。这使得设备安装空间可大幅缩小,特别适合空间受限的洁净室、风淋室等洁净设备使用。