核心技术特点
超高效过滤性能:ATMML系列ULPA滤波器对0.1-0.15μm微粒的捕集效率达到99.9995%以上,能够有效捕捉空气中的微小颗粒、细菌、病毒等污染物,满足ISO 14644-1标准中ISO 3-4级洁净度的要求。
低风阻设计:采用V形结构的特殊隔板,大幅增大过滤面积,在保持紧凑尺寸的同时显著降低压力损失。初期压力损失仅103-128Pa,最终压力损失294Pa,相比传统HEPA滤网风阻降低约30%,大幅降低了空调系统的能耗。
高风量处理能力:标准型处理风量可达10-20.5m³/min,相比普通HEPA滤网风量提升约2-3倍。这使得设备安装空间可大幅缩小,特别适合空间受限的洁净室、风淋室等洁净设备使用。
长寿命性能:通过有效利用过滤材料面积的新间隔保持方法,实现了长寿命化。这减少了更换过滤器的频率,降低了维护成本,同时保证了过滤效果的稳定性。
产品系列规格
标准型滤网(深度98mm):
ATMML-10-E38:尺寸610×610×98mm,风量10.0m³/min,压力损失初期103Pa/最终294Pa,捕集效率99.9995% at0.1-0.15μm
ATMML-20-E38:尺寸610×1220×98mm,风量20.5m³/min,压力损失初期103Pa/最终294Pa,捕集效率99.9995% at0.1-0.15μm
紧凑型滤网(深度75mm):
ATMML-10-E23:尺寸610×610×75mm,风量10.0m³/min,压力损失初期108Pa
ATMML-20-E23:尺寸610×1220×75mm,风量20.5m³/min
超薄型滤网(深度65mm):
ATMML-10-E41:尺寸610×610×65mm,风量10.0m³/min,压力损失初期128Pa,捕集效率99.999% at0.1-0.15μm
ATMML-20-E41:尺寸610×1220×65mm,风量20.5m³/min
超薄型滤网(深度50mm):
ATMML-7-E25:尺寸610×610×50mm,风量7.0m³/min
ATMML-14-E25:尺寸610×1220×50mm,风量14.5m³/min
应用领域
ATMML系列ULPA滤波器主要应用于以下领域:
半导体制造:在半导体制造过程中,空气中的微小颗粒物可能对产品质量产生严重影响。该过滤器能够有效过滤空气中的杂质,保证生产环境的洁净度,特别适合对洁净度要求极高的光刻、蚀刻等制程工艺。
制药行业:制药行业对生产环境的洁净度要求极高,该过滤器能够满足这一需求,确保药品的质量和安全性,特别适用于无菌注射剂灌装区、固体制剂生产车间等关键区域。
医疗领域:医院手术室、重症监护室、生物安全实验室等对空气质量的要求极高,该过滤器能够提供洁净的空气环境,降低感染风险,确保医疗安全。
电子制造:精密电子装配、集成电路封装、液晶面板生产等对洁净度要求极高的环境,该过滤器能够确保生产环境的稳定性,提高产品良率。
食品加工:在食品加工过程中,空气中的细菌、病毒等微生物可能污染食品,影响食品安全。该过滤器能够有效过滤空气中的微生物,保障食品加工环境的卫生安全。